在電漿反應當中導入製程氣體如︰ [ HMDSO, HMDSN, C2F6....] 產生電漿聚合效應，因此在表面形成沉積。

應用:

• 疏水層的沉積﹒
• 親水層的沉積﹒
• 防止擴散的應用﹒