技术资料:

外型尺寸:
W 550 mm, H 330 mm, D 500 mm
反应室尺寸:
Ø150 mm, L 320 mm
反应室容积:
约 5 公升
气体供应:
针阀控制型; 双气体通道
射频发生器:
40kHz/200 W,可调变输出功率
(可选: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
真空泵:
Leybold, Type Trivac D2.5B (2.5m3/h)
托盤:
1 件
控制方式:
半自动控制, 计时器控制制程时间