技术资料:
外型尺寸:
W 550 mm, H 330 mm, D 500 mm
反应室尺寸:
Ø 130 mm, L 300 mm
开口 Ø : 125 mm
材质: 石英玻璃或矽酸硼玻璃
反应室前,后材质: 铝
反应室容积:
约 4 公升
气体供应:
针阀控制，双气通道
射频发生器:
40kHz/200 W,可调变输出功率
(可选: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
真空泵:
Leybold, Type Trivac D2.5B (2.5m3/h)
托盘:
1 件
控制方式:
半自动控制, 计时器控制制程时间
选购/ 附件
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