| |
技術的な仕様：
筺体寸法：
幅580
mm, 高さ650 mm, 奥行き 600
mm
チャンバー：
Ø
240 mm, 長さ 400 mm
(オプション：
長さ 600 mm)
素材：石英ガラスまたはホウケイ酸ガラス
f前面背面チャンバー封印部：アルミニウム
チャンバー容積：
約
18 Liter
ガス供給：
2
系統、ニードルバルブで制御
プラズマ電源：
40kHz/300
W, 無断階調節可能
(オプションで:
13.56 MHz or 2.45 GHz)
真空ポンプ：
Leybold,
Type D8B (8 m³/h)
トレー：
一体型トレー
制御方式：
処理時間をタイマーで設定する半自動制御
オプション・付属品など
|
|
NANO UHP with semi-automatic control: cleaning,
activating, etching, deposition of coatings |
