技术资料:

外型尺寸:
W 580 mm, H 650 mm, D 600 mm
反应室尺寸:
Ø240 mm, L 400 mm                       

  ( 可选:L600mm)                             

  开口:Ø230 mm
材质:                                          石英玻璃或矽酸硼玻璃
反应室前,后材质: 鋁
反应室容积:
约 18 公升
气体供应:
针阀控制， 双气通道
射频发生器:
40kHz/300 W,可调变输出功率
(可选: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
真空泵:
Leybold, Type  D8B (8 m3/h) 
托盤:
1 件
控制方式:
半自动控制, 计时器控制制程时间

NANO UHP 

 半自動控制

适用清洁, 活化, 蚀刻 , 涂装

小机型  NANO UHP

 

全自动控制

铰链门

 

适用于清洁，活化，蚀刻，涂装

 

价格需向厂家单独咨询

小机型  NANO UHP

 

全自动控制

 

适用于清洁，活化，蚀刻，涂装

 

价格需向厂家单独咨询

小机型  NANO RF UHP

 

全自动控制，手动匹配

温度显示表，综合泵

铰链门

适用于清洁，活化，蚀刻，涂装

 

价格需向厂家单独咨询