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技術データ:
筺体寸法:
幅
600
mm, 高さ 1100
mm, 奥行き650
mm
チャンバー:
幅
305
mm, 高さ 300
mm,長さ370
mm
(オプションで:
長さ625
mm)
チャンバー容積:
約
34
liters
ガス供給：
2
系統、ニードルバルブで制御
プラズマ電源：
40kHz/0-1000
W
(オプションで:
13.56 MHz または2.45
GHz)
真空ポンプ：
Leybold,
Type D16B (16
m³/h)
トレー：
6個まで
(オプションで：回転ドラム)
制御方式：
全自動制御。処理時間をタイマーで設定する
オプション / 付属品
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TETRA-30-LF
system: 全自動仕様
製造、洗浄、活性化、エッチング等の用途向け
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