技术资料:

外型尺寸:
W 600 mm, H 800 mm, D 650 mm
反应室尺寸:
W 305 mm, H 300 mm, L 370 mm (可选:L 625mm)
反应室容积:
约 34 公升
气体供应:
针阀控制型，双气体通道
射频发生器:
40kHz/0-1000 W
(可选: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
真空泵:
Leybold, Type  D16B(16 m3/h) 
托盤:
最多6件托盘(选项 : 旋转圆筒)
控制方式:
全自动控制, 计时器控制制程时间

TETRA-30-LF

全自动控制型, 适合清洁, 蚀刻, 活化