技术资料:

外型尺寸:
W 600 mm, H 2200 mm, D 850 mm
反应室尺寸:
W 305 mm, H 300 mm, L 370mm    (可选:D 625mm)
反应室容积:
约 34 公升
气体供应:
流量控制型，三气体通道
射频发射射器:
40kHz/0-1000 W
(可选: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
托盘:
最多6件托盘(选项 : 旋转圆筒)
控制方式:
电脑控制(Windows)

TETRA-30-LF-PC

电脑控制型,适合清洁,蚀刻,活化