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技術的な仕様：
筺体寸法：
幅600
mm, 高さ2.200 mm, 奥行き800
mm
チャンバー：
幅400
mm, 高さ625 mm, 奥行き400
mm
チャンバー容積：
約100
Liter
ガス供給：
３系統までMFCで流量制御
プラズマ電源：
40kHz/0-2500
W
(オプションで： 13.56 MHz
または2.45
GHz)
真空ポンプ：
Leybold,
Type D40B (40 m³/h)
トレー：
10段まで収納可能
(オプションで回転ドラム)
制御：
PCー制御
(Windows)
オプション・付属品
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TETRA-100-LF-PC 製造工程での洗浄、活性化、エッチング処理
Tetra用の6段の製品トレーおよび回転式ドラム |
