1.   13.56 MHz - 射频发生器
以 DIN EN 55011为准，我们的13.56 MHz 射频发生其为石英稳定型。手动和自动阻抗匹配。主要应用领域为活化，清洁，蚀刻，半导体(前端)，半导体(后端)，等离子体聚合。

 2.   40kHz - 射频发器                                                                                  
自动阻抗匹配，双功率执行器。主要应用领域为活化，清洁，蚀刻，半导体(后端)，等离子体聚合。

 3.   2.45 GHz - 射频发生器 (微波) 
0-300瓦功率，PC接口。主要应用领域为活化，清洁，半导体(前端)，半导体(后端)，等离子体聚合。   

 4.   2/2 液体配量阀
可实现液体单体定量配给。

 5.   半自动控制系统
祥见:等离子机/控制系统/半自动控制系统

 6.   全自动控制系统
祥见:等离子机/控制系统/全自动控制系统

 7.   电脑控制系统
祥见:等离子机/控制系统/电脑控制系统

 8.   PCCE-控制系统
采用Windows CE 触摸屏。 祥见:等离子机/控制系统/PCCE控制系统

 9.   活性炭过滤器
容易拆换

 10.   真空抽气入口过滤器
保护真空泵被周围物件，涂料，和污染损伤。

 11.   自动门
制程中自动锁闭，安全可靠

 12.   条码阅读器

 13.   加热舱
带调节器，可加热至 80°C 。适用于特定制程条件并提高蚀刻率。

 14.   偏压测量系统
kHz- und MHz-射频发生器自带偏压测量系统。

 15.   喷水式饮水口瓶
属于聚合附件，用于将液体单体灌注于真空舱内。

 16.   蝴蝶阀

 17.   不同语种文献
所有等离子机系统不自带不属机械指令89/392/EWG的非英语及德语语言，若有特殊需求需单独定购。

 18.   旋转圆筒
如用于固体工件处理。

 19.   测压仪
以Pirani传感器 或 Baratron 显示器 显示真空舱内压。

 20.   气瓶减压阀
联接于气瓶-200巴。不同气体需用不同气瓶减压阀。一种适用于H2, O2, CF4, C4F8 ，一种适用于NH3。

 21.   连续运作系统
使低压等离子系统在工作线上得以实现自动化。

 22.   标准备件或全氟聚醚(PFPE)
标准备件包括1个张力环，1个密封衬垫，1个不锈钢波管（真空管） ， 1个窗玻璃，1个门密封衬垫，10个等离子机系统精密安全环 ，  1升真空泵矿物油。(全氟聚醚(PFPE)标准备件含1升PFPE真空泵油)

 23.   标签打印机
等离子体处理后自动打印标签。

 25.   法拉第容器
适用于电敏感元件。将要进行处理的组件置于法拉第容器中。法拉第容器可自由添加置放于真空舱体。

 26.   气瓶固定带
可自由固定在工作台，工作架或墙梯上。最大伸张范围为70mm，安全，无间隙。适用所有气瓶。

 27.   气体监测 (Dräger)
附加安全系统，适用于易燃气体。

 28.   加热板                                                                                                  可将待处理工件置于加热板上加热至 150°C 。适用于特定制程条件并提高蚀刻率。供2种选择:
温度显示装置热电偶探头置于真空舱内，使工件表面温度得以精确测量。
电脑控制系统带温度显示装置，其电偶探头亦置于真空舱内，工件表面温度得以精确测量，其结果显示于电脑屏幕。

 29.   等离子机安装上门服务
此选项包括预算我们技术服务人员路程时间，工作时间并行程费用等。

 30.   离子流测量传感器
制程中附加的等离子体质量监控。

 31.   腐蚀性气体导管
阀门，导管均为不锈钢。适用于等离子体聚合及腐蚀性气体如 NH3, H2O, CF4, SF6  。

 32.   客户特殊需求托盘
本公司所有等离子机带标准托盘1件，若客户有特殊需求，请与我们联系。

 33.   涂装喷剂/玻璃平板套装(实验室免费测试)
适用涂装浸润性测试。供货:罐装涂装剂，5罐，各400ml;玻璃平板100个，各90 mm x 110 mm 。

 34.   真空舱缓慢排气
真空舱通过滤网实现缓慢排气。使真空舱内小工件不至于卷入气涡流。

 35.   真空舱缓慢泵出
通过旁路阀实现缓慢泵出。使舱体内小工件不至于卷入气涡流。

 37.   功率显示器
显示射频发生器功率。模拟显示仪。

 38.   多层电极
可供圆形或方形舱体使用。可一次性处理更多工件。适用于标准等离子体制程。若有需求，请与本公司联系，具体商议适用您的电极并托盘。

 40.   单体瓶                                                                                                   聚合附件。将液体单体导入真空舱内。

 41.   网络联接
联接等离子机与电脑。

 42.   OES - 光谱仪
用于等离子制程质量安全监控。监测等离子制程终点。OES只用于电脑控制的等离子机。

 43.   聚合配件
包含蒸气瓶，称，剂量泵，加热器，亦可能外加固定带。

 44.   制程气体瓶
氧气瓶可为2.5和10升;氢气瓶为2升;氩气瓶为2升。运输气体时应注意特别运输条件。租用仪器时应购买适用制程气体瓶。

 45.   硅玻璃容器
两种可选尺寸。可用于超高纯等离子制程或圆片处理。

 46.   RIE-电极
形状:圆形和方形。材料:不锈钢。目的:达到更高的蚀刻率。应用领域:各向异性和各向同性蚀刻。

 47.   RIE-电极带气浴
形状:方形。材料:不锈钢。目的:通过均匀气体分布达到更高的蚀刻率。应用领域:各向异性蚀刻。

 48.   卷对卷系统
用于箔状物件及金属印脚处理。

 49.   氧气射频发生器
由环境空气产生氧气。型号:Kröber O2 。氧气功率: 3-6 l/min 。

 50.   安全阀
适用于易燃气体，如氢气，乙炔...

 51.   特殊电极与托盘
若有需求，请与本公司联系，具体商议适用您的电极并托盘。

 52.   特殊法兰 / 附加法兰
适用于当需求超过所预备接口时。

 53.   特殊真空舱
依据 DIN 12198 本公司于带视孔玻璃的等离子机做过紫外线辐照度测试。结果:安全。特殊真空舱体有圆形带盖，方形带铰链门。材料:铝。供应不同开口及内径尺寸的特殊舱体。若有需求，请与本公司联系。

 54.   圆形或方形标准电极
采用不锈钢片或铝片，适用于标准等离子体制程。

 55.   TEM 样品固定架
置入等离子体舱内的特别装置。可制作成不同尺寸。若有需求，请告知您所需要的样品尺寸/图纸。

 56.   温度显示器
电偶探头置于真空舱内，显示舱内温度。工件表面温度得以精确测量，其结果显示于电脑屏幕。

 57.   表面张力测试墨水
用于表面张力测试分析。普通型具有28, 38, 56, 64, 72 及105 mN/m  。 其他型号需特别定购。 

 58.   热蒸发器
适用于具有较低蒸气压的物质。器具直径:16mmm器具容积:0.1升。屏蔽等离子体影响，控制温度(最高500°C)及升温速度(至250°C/min)。可联接小法兰。

 59.    LT4H  计时器
在制程中代替标准计时器。

 60.   玻璃真空舱 (硼硅或石英)
硼硅玻璃真空舱适用于高纯等离子体制程，石英玻璃真空舱适用于超高纯等离子体制程。

 61.   不锈钢真空舱                                                                                         适用于标准等离子体制程。

 62.   真空泵状态
旋片或干泵用矿物油或PFPE油。从本公司运出的等离子机均已灌注配合油型。

 63.   粉末处理附件                                                                                          粉末可置于旋转气瓶中处理。该瓶可从真空舱中拿出以添加粉末。

 64.   水冷却器
以滚轮循环系统实现水-气-冷却。接口通过2个泵保护电路交替接触实现零电路。

 65.   提供等离子机维护服务
本公司提供全套维护服务。包括换油，检查接口，密封圈，插头等。亦代做泄漏值测试，校准压力传感器并其他功能检验。更多维护及服务类内容见主页 咨询/服务。

 65.   洗物袋
用于小尺寸物件于清洗机预清洁。本品尺寸: 500 mm x 300 mm。最少购买量: 20 个。

 67.   甩干清洗机
用于小尺寸工件等离子体处理前预清洁。只有重度污染物件必要用此程序。生产厂家:Miele，型号:WT 2670 WPM.

 68.   水冷式托盘
水冷式托盘安装于舱底，包括水泵和水容箱。适用于热敏感工件制冷。

 69.   其他软件功能
所有软件均可随时扩充功能，若有需求，请告知您的需要。

 70.   附加气体通道
针阀:本公司所有等离子机均可安装任意数量针阀。标准等离子机 Femto 含1-3个，若有需求，可加装更多。

 71.   附加流量控制器
MFC: 用于 PC 和PCCE 控制。本公司等离子 机可安装任意数量流量控制器。