大気圧プラズマ装置 - PLASMABEAM

1. プラズマ供給源:

• 電源接続部

• 処理ガス、冷却ガス接続部

• 高電圧発生装置High voltage generator

• プラズマ電流制御装置

• ガス流量制御装置

• 操作ボタンつき前面パネル

2. 柔軟なチューブに入ったガスおよび電力伝達部

3. プラズマユニット : 中心電極、外周電極、放電領域の絶縁材

• 高電圧発生器が供給電源を放電に必要な電圧（10kvまで）に変換します。

• 高電圧と処理・冷却ガスは柔軟性のある伝達部を通って放電領域に供給されます。

• 空気流は放電部の電弧から発生する活性物質を運びます。

• 活性ガスの流れをノズルの形で整え、処理する試料の表面に吹き付けます。