プラズマ装置 - 制御

[ DIFFERENT CONTROLS - PC-制御]

• 簡単な操作
• 画面上で動作状況を見ることができます。
• 必要なすべての処理条件を自動制御できます。
• 必要なすべての処理条件を監視することが出来ます。
• 必要なすべての処理条件のデータを記録することが出来ます。

• 処理の履歴を文書化できます。

PC-制御の機能:

• 工業用通信busを実装した通常の市販のパーソナルコンピュータで制御します。
• PC本体、モニター、キーボードは本体筺体に組み込まれています。
• 安全上の配慮からすべての入出力チャンネルは電気的に絶縁されています。
• ソフトウエアはウインドーズ上で動作します。
• 運転モード:
  - 手動運転 　　　　　
  - 全自動運転

   

• 設置可能パラメータ:
  処理開始圧力
  最大試験時間
  ガス流量
  圧力安定時間
  圧力
  HF-電力
  掃気時間
  換気時間
  温度
  不具合検出設定 ：
  - 圧力
  - ガス流量
  - HF-電力
  - 温度

   

• 自動制御プログラムが100本まで保存できます。
• PID- regulatorによるディジタル圧力制御
• 処理 パラメーターをグラフィカルに表示
• 処理 データを Excel - file形式で保存
• プロトコルダイアグラムは通常のプリンターで出力可能
• ネットワークカード装備可能です。（通常は不要です）
• お知らせランプで処理終了をお知らせします。
• <ネットワークカード