[ FEMTO UHP 等离子蚀刻机 ]

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FEMTO UHP等离子机,反应室为玻璃材料(不采用不锈钢). 适合不易清除痕跡的应用如铬,镍和铁材料之处理。

所有等离子系统均可灵活组合，以下仅为常用机型参考数据。

技术资料:

Femto UHP (铰链门)

外型尺寸:
W 560 mm, H 310 mm, D 600 mm
反应室尺寸:
 Ø 95 mm, L 270 mm , 开口Ø 90 mm
反应室容积:
约 1.9 公升

材料:
窗口:石英或硼硅玻璃;    反应室: 铝
气体供应:
针阀控制型 ; 单气体通道
射频发生器:
40kHz/100W, 可调变输出功率
真空泵:
Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)
托盘:
1 件
控制方式:
手动, 计时器控制制程时间

选购/ 附件

      小机型FEMTO UHP (型号2):

     适用小尺寸制程研发, 清洁, 活化, 蚀刻

       价格需向厂家单独咨询

技术资料:

FEMTO-UHP:

外型尺寸:
W 562 mm, H 211 mm, D 420 mm
反应室尺寸:
Ø 95 mm, L 270 mm , 开口Ø 90 mm
反应室容积:
约 1.9公升

材料:
窗口:石英或硼硅玻璃;    反应室: 铝
气体供应:
针阀控制型 ;  双气体通道
射频发生器:
40kHz/100 W, 可调变输出功率
真空泵:
Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)
托盘:
1 件
控制方式:
手动, 计时器控制制程时间或自动控制
测压仪:
Pirani

选购/ 附件

       小机型FEMTO (型号3):

      适用小尺寸制程研发, 清洁, 活化, 蚀刻

        价格需向厂家单独咨询

技术资料:

FEMTO-UHP:

外型尺寸:
W 500 mm, H 460 mm, D 550 mm
反应室尺寸:
Ø 95 mm, L 270 mm , 开口Ø 90 mm
反应室容积:
约 1.9公升

材料:
窗口:石英或硼硅玻璃;    反应室: 铝
气体供应:
流量控制型; 三气体通道
射频发生器:
40kHz/ 100W (可选: 13.45MHz或 2.45GHz)

真空泵:
Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)
托盘:
1 件
控制方式:
Windows软件电脑控制 (见电脑控制)

选购/ 附件

      小机型FEMTO (型号4):

     适用小尺寸制程研发, 清洁, 活化, 蚀刻

      价格需向厂家单独咨询

技术资料:

FEMTO-UHP:

外型尺寸:
W 320, H 500m, D 420
反应室尺寸:
Ø 95 mm, L 270 mm , 开口Ø 90 mm
反应室容积:
约1.9公升

材料:
窗口:石英或硼硅玻璃;    反应室: 铝
气体供应:
针阀控制型; 双气体通道
射频发生器:
40kHz/ 100W (可选: 13.45MHz或 2.45GHz)

真空泵:
Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)
托盘:
1 件
控制方式:
手动, 计时器控制制程时间或自动控制
测压仪:
Pirani

选购/ 附件

      小机型FEMTO (型号5):

     适用小尺寸制程研发, 清洁, 活化, 蚀刻

      价格需向厂家单独咨询