技术资料:

外型尺寸:
W 550 mm, H 1700 mm, D 800 mm
反应室尺寸:
W 360 mm, H 320 mm, D 260 mm
反应室容积:
约 15 公升
气体供应:
流量控制型; 双气体通道
射频发生器:
双射频发生器 ( 各40kHz)             (可選: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
控制方式:
电脑控制(Windows)              
自动化: 
自动化抽拉门